제품정보

  1. Fiber Optic Temperature Sensor 
    • 주용도: RF Noise 환경에서 ESC, Electrode, Dielectric  Window등의 정밀 온도측정에 사용됨.
  2. Noise Detection Probe, RF Filter & RF Sensor   
    •  주용도: RF Noise Detection, Low Pass Filter for ESC Heater, RF Diagnostics
  3. High Voltage Power Supply & Wafer Sensor  
    •  주용도: ESC에 DC Power 공급 및 Wafer 상태 sensing(monitoring) 

                  

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